Ֆիզիկական և քիմիական լաբորատոր սարքավորումներ.
Մեխանիկական փորձարկում, էլեկտրական փորձարկում, առաջին տախտակի ստուգում և փորձարկում, լաբորատոր վերլուծություն։
1. Պղնձե փայլաթիթեղի ձգման ստուգիչ. Այս գործիքը օգտագործվում է պղնձե փայլաթիթեղի ձգման ամրությունը չափելու համար ձգման գործընթացում: Այն օգնում է գնահատել պղնձե փայլաթիթեղի ամրությունն ու ամրությունը՝ արտադրանքի որակը և հուսալիությունն ապահովելու համար:
Պղնձե փայլաթիթեղի ձգման փորձարկիչ
Լիովին ավտոմատ ինտելեկտուալ աղի ցողման փորձարկման մեքենա
2. Լիովին ավտոմատ ինտելեկտուալ աղային ցողման փորձարկման մեքենա. Այս մեքենան մոդելավորում է աղային ցողման միջավայրը՝ մակերեսային մշակումից հետո միկրոսխեմաների կոռոզիոն դիմադրությունը ստուգելու համար: Այն օգնում է վերահսկել արտադրանքի որակը և ապահովել կայուն աշխատանք կոշտ միջավայրերում:
3. Չորս լարով ստուգիչ սարք. Այս սարքը ստուգում է տպագիր միկրոսխեմաների վրա լարերի դիմադրությունը և հաղորդականությունը: Այն գնահատում է միկրոսխեմաների էլեկտրական կատարողականությունը, ներառյալ փոխանցման կատարողականությունը և էներգիայի սպառումը՝ հուսալի և կայուն միացումներ ապահովելու համար:
Չորս լարով փորձարկման մեքենա
4. Իմպեդանսի չափիչ. տպագիր միկրոսխեմաների արտադրության մեջ կարևոր գործիք է: Այն օգտագործվում է միկրոսխեմայի վրա իմպեդանսի արժեքը չափելու համար՝ ստեղծելով ֆիքսված հաճախականության փոփոխական հոսանքի ազդանշան, որը անցնում է փորձարկվող միկրոսխեմայով: Այնուհետև չափման սխեման հաշվարկում է իմպեդանսի արժեքը՝ հիմնվելով Օհմի օրենքի և փոփոխական հոսանքի միկրոսխեմաների բնութագրերի վրա: Սա ապահովում է, որ արտադրված միկրոսխեման համապատասխանում է հաճախորդի կողմից սահմանված իմպեդանսի պահանջներին:
Արտադրողները կարող են նաև օգտագործել այս փորձարկման գործընթացը՝ գործընթացի բարելավումներ կատարելու և միկրոսխեմաների իմպեդանսի կառավարման հնարավորությունները բարելավելու համար: Սա անհրաժեշտ է բարձր արագությամբ թվային ազդանշանի փոխանցման և ռադիոհաճախականության կիրառությունների պահանջները բավարարելու համար:
Իմպեդանսի չափիչ
Սխեմաների արտադրության ողջ գործընթացի ընթացքում իմպեդանսի թեստավորումն իրականացվում է տարբեր փուլերում՝
1) Նախագծման փուլ. Ինժեներները օգտագործում են էլեկտրամագնիսական մոդելավորման ծրագրակազմ՝ միկրոսխեմաների նախագծման և դասավորության համար: Նրանք նախապես հաշվարկում և մոդելավորում են իմպեդանսի արժեքները՝ համոզվելու համար, որ դիզայնը համապատասխանում է որոշակի պահանջներին: Այս մոդելավորումը օգնում է գնահատել միկրոսխեմաների իմպեդանսը արտադրությունից առաջ:
2) Արտադրության վաղ փուլ. նախատիպի արտադրության ընթացքում կատարվում է իմպեդանսի թեստավորում՝ ստուգելու համար, որ իմպեդանսի արժեքը համապատասխանում է սպասումներին: Այս արդյունքների հիման վրա կարելի է կատարել արտադրական գործընթացի ճշգրտումներ:
3) Արտադրական գործընթաց. Բազմաշերտ տպատախտակների արտադրության մեջ կարևոր հանգույցներում իրականացվում է իմպեդանսի թեստավորում՝ ապահովելու համար այնպիսի պարամետրերի վերահսկողությունը, ինչպիսիք են պղնձե փայլաթիթեղի հաստությունը, դիէլեկտրիկ նյութի հաստությունը և գծի լայնությունը: Սա երաշխավորում է, որ վերջնական իմպեդանսի արժեքը համապատասխանում է նախագծային պահանջներին:
4) Պատրաստի արտադրանքի ստուգում. Արտադրությունից հետո, տպատախտակի վրա անցկացվում է վերջնական դիմադրության ստուգում: Սա ապահովում է, որ արտադրական գործընթացի ընթացքում կատարված կառավարումներն ու կարգավորումները արդյունավետորեն համապատասխանում են դիմադրության արժեքի նախագծային պահանջներին:
5. Ցածր դիմադրության փորձարկման մեքենա. Այս մեքենան ստուգում է լարերի և միկրոսխեմայի վրա գտնվող շփման կետերի դիմադրությունը՝ համոզվելու համար, որ դրանք համապատասխանում են նախագծային պահանջներին և ապահովում են արտադրանքի որակը և կատարողականությունը:
Ցածր դիմադրության փորձարկման մեքենա
Թռչող զոնդի փորձարկիչ
6. Թռչող զոնդի փորձարկիչ. Թռչող զոնդի փորձարկիչը հիմնականում օգտագործվում է միկրոսխեմաների մեկուսացման և հաղորդականության արժեքները ստուգելու համար: Այն կարող է վերահսկել փորձարկման գործընթացը և հայտնաբերել սխալի կետերը իրական ժամանակում՝ ապահովելով ճշգրիտ փորձարկում: Թռչող զոնդի փորձարկումը հարմար է փոքր և միջին խմբաքանակի միկրոսխեմաների փորձարկման համար, քանի որ այն վերացնում է փորձարկման հարմարանքի անհրաժեշտությունը, կրճատելով արտադրության ժամանակը և ծախսերը:
7. Հարմարանքների գործիքավորման փորձարկիչ. Նման թռչող զոնդի փորձարկմանը, փորձարկման դարակաշարային փորձարկումը սովորաբար օգտագործվում է միջին և մեծ խմբաքանակի տպատախտակների փորձարկման համար: Այն հնարավորություն է տալիս միաժամանակ փորձարկել բազմաթիվ փորձարկման կետեր, զգալիորեն բարելավելով փորձարկման արդյունավետությունը և կրճատելով փորձարկման ժամանակը: Սա բարձրացնում է արտադրական գծի ընդհանուր արտադրողականությունը, միաժամանակ ապահովելով ճշգրտություն և բարձր վերաօգտագործելիություն:
Ձեռքով ամրացման գործիքների փորձարկիչ
Ավտոմատ հարմարանքների գործիքավորման փորձարկիչ
Ամրակման գործիքների խանութ
8. Երկչափ չափիչ սարք. Այս սարքը լուսավորության և լուսանկարչության միջոցով լուսանկարում է առարկայի մակերեսը։ Այնուհետև այն մշակում է պատկերները և վերլուծում տվյալները՝ առարկայի մասին երկրաչափական տեղեկատվություն ստանալու համար։ Արդյունքները ցուցադրվում են տեսողականորեն, ինչը թույլ է տալիս օպերատորներին դիտարկել և ճշգրիտ չափել առարկայի ձևը, չափը, դիրքը և այլ բնութագրերը։
Երկչափ չափիչ սարք
Գծի լայնության չափման գործիք
9. Գծի լայնության չափման գործիք. Գծի լայնության չափման գործիքը հիմնականում օգտագործվում է տպագիր միկրոսխեմայի կիսաֆաբրիկատների վերին և ստորին լայնությունը, մակերեսը, անկյունը, շրջանագծի տրամագիծը, շրջանագծի կենտրոնական հեռավորությունը և այլ պարամետրեր չափելու համար՝ մշակումից և փորագրումից հետո (տպագրության մեջ զոդման դիմակի թանաքից առաջ): Այն օգտագործում է լույսի աղբյուր՝ միկրոսխեմայի լուսավորության համար և պատկերի ազդանշանը որսում է օպտիկական ուժեղացման և CCD ֆոտոէլեկտրական ազդանշանի փոխակերպման միջոցով: Չափման արդյունքները այնուհետև ցուցադրվում են համակարգչային ինտերֆեյսի վրա, ինչը թույլ է տալիս ճշգրիտ և արդյունավետ չափումներ կատարել՝ պատկերի վրա սեղմելով:
10. Անագե վառարան. Անագե վառարանն օգտագործվում է միկրոսխեմաների եռակցելիությունը և ջերմային հարվածի դիմադրությունը ստուգելու համար՝ ապահովելով եռակցման միացումների որակը և հուսալիությունը:
Եռակցելիության թեստ. Սա գնահատում է միկրոսխեմայի մակերեսի հուսալի եռակցման կապեր ստեղծելու ունակությունը: Այն չափում է շփման կետերը՝ եռակցման նյութի և միկրոսխեմայի մակերեսի միջև կապը գնահատելու համար:
Ջերմային հարվածի դիմադրության թեստ. Այս թեստը գնահատում է միկրոսխեմայի դիմադրողականությունը բարձր ջերմաստիճանային միջավայրերում ջերմաստիճանի տատանումների նկատմամբ: Այն ներառում է միկրոսխեմայի ենթարկումը բարձր ջերմաստիճանների և արագ տեղափոխումը ցածր ջերմաստիճանների՝ ջերմային հարվածի դիմադրողականությունը գնահատելու համար:
11. Ռենտգենյան ստուգման սարք. Ռենտգենյան ստուգման մեքենան կարող է թափանցել միկրոսխեմաների մեջ՝ առանց ապամոնտաժման կամ վնաս պատճառելու անհրաժեշտության, այդպիսով խուսափելով հնարավոր ծախսերից և վնասներից: Այն կարող է հայտնաբերել միկրոսխեմաների վրա առաջացող թերությունները, այդ թվում՝ փուչիկների անցքերը, բաց միացումները, կարճ միացումները և անսարք գծերը: Սարքավորումը գործում է անկախ, ավտոմատ կերպով բեռնելով և բեռնաթափելով նյութերը, հայտնաբերելով, վերլուծելով և որոշելով աննորմալությունները, ինչպես նաև ավտոմատ կերպով նշելով և պիտակավորելով, այդպիսով բարելավելով արտադրության արդյունավետությունը:
Ռենտգենյան ստուգման մեքենա
Ծածկույթի հաստության չափիչ
12. Ծածկույթի հաստության չափիչ. Սխեմաների արտադրության ընթացքում հաճախ կիրառվում են տարբեր ծածկույթներ (օրինակ՝ անագապատում, ոսկեպատում և այլն)՝ հաղորդունակությունը և կոռոզիոն դիմադրությունը բարձրացնելու համար: Այնուամենայնիվ, ծածկույթի անպատշաճ հաստությունը կարող է հանգեցնել աշխատանքային խնդիրների: Ծածկույթի հաստության չափիչը օգտագործվում է սխեմաների մակերեսին ծածկույթի հաստությունը չափելու համար՝ ապահովելով, որ այն համապատասխանի նախագծային պահանջներին:
13. ROHS սարք. Տպագիր միկրոսխեմաների արտադրության մեջ ROHS սարքերն օգտագործվում են նյութերում վնասակար նյութեր հայտնաբերելու և վերլուծելու համար՝ ապահովելով ROHS դիրեկտիվի պահանջներին համապատասխանությունը: Եվրոպական Միության կողմից ներդրված ROHS դիրեկտիվը սահմանափակում է էլեկտրոնային և էլեկտրական սարքավորումներում վտանգավոր նյութերը, այդ թվում՝ կապարը, սնդիկը, կադմիումը, վեցարժեք քրոմը և այլն: ROHS սարքերն օգտագործվում են այս վնասակար նյութերի պարունակությունը չափելու համար՝ ապահովելով, որ տպագիր միկրոսխեմաների արտադրության գործընթացում օգտագործվող նյութերը համապատասխանեն ROHS դիրեկտիվի պահանջներին՝ ապահովելով արտադրանքի անվտանգությունը և շրջակա միջավայրի պաշտպանությունը:
ROHS գործիք
14. Մետաղագրական մանրադիտակ. Մետաղագրական մանրադիտակը հիմնականում օգտագործվում է ներքին և արտաքին շերտերի պղնձի հաստությունը, էլեկտրոլիզացված մակերեսները, էլեկտրոլիզացված անցքերը, եռակցման դիմակները, մակերեսային մշակումները և յուրաքանչյուր դիէլեկտրիկ շերտի հաստությունը ուսումնասիրելու համար՝ հաճախորդի պահանջներին համապատասխանելու համար:
Մանրադիտակային հատվածների խանութ
Մանրադիտակային հատված 1
Մանրադիտակային հատված 2
Պղնձի անցքերի մակերեսի փորձարկիչ
15. Պղնձի անցքերի մակերեսի ստուգիչ. Այս գործիքը օգտագործվում է տպագիր միկրոսխեմաների անցքերում պղնձե փայլաթիթեղի հաստությունը և միատարրությունը ստուգելու համար: Անհավասար պղնձապատման հաստությունը կամ նշված միջակայքերից շեղումները արագորեն հայտնաբերելով՝ կարելի է ժամանակին ճշգրտումներ կատարել արտադրական գործընթացում:
16. AOI սկաները, որը կրճատ անվանումն է «Ավտոմատացված օպտիկական ստուգում», սարքավորումների տեսակ է, որն օգտագործում է օպտիկական տեխնոլոգիա՝ էլեկտրոնային բաղադրիչները կամ արտադրանքը ավտոմատ կերպով նույնականացնելու համար: Դրա աշխատանքը ներառում է ստուգվող օբյեկտի մակերեսի պատկերի նկարահանումը՝ օգտագործելով բարձր թույլտվությամբ տեսախցիկների համակարգ: Հետագայում, համակարգչային պատկերի մշակման տեխնոլոգիան կիրառվում է պատկերը վերլուծելու և համեմատելու համար, ինչը հնարավորություն է տալիս հայտնաբերել թիրախային օբյեկտի մակերեսային թերությունները և վնասման խնդիրները:
AOI սկաներ
17. ՏՀՏ արտաքին տեսքի ստուգման մեքենան նախատեսված է տպատախտակների տեսողական որակը գնահատելու և արտադրական թերությունները հայտնաբերելու համար: Այս մեքենան ունի բարձր թույլտվությամբ տեսախցիկ և լույսի աղբյուր՝ ՏՀՏ մակերեսի մանրակրկիտ ուսումնասիրություն անցկացնելու, տարբեր թերություններ հայտնաբերելու համար, ինչպիսիք են քերծվածքները, կոռոզիան, աղտոտումը և եռակցման խնդիրները: Սովորաբար այն ներառում է ավտոմատ մատակարարման և բեռնաթափման համակարգեր՝ ՏՀՏ մեծ խմբաքանակները կառավարելու և հաստատված և մերժված տախտակները առանձնացնելու համար: Պատկերի մշակման ալգորիթմներ կիրառելով՝ հայտնաբերված թերությունները դասակարգվում և նշվում են՝ նպաստելով ավելի հեշտ և ճշգրիտ վերանորոգմանը կամ վերացմանը: Ավտոմատացման և պատկերի մշակման առաջադեմ հնարավորությունների շնորհիվ այս մեքենաները արագորեն իրականացնում են ստուգումներ՝ բարձրացնելով արտադրողականությունը և կրճատելով ծախսերը: Ավելին, դրանք կարող են պահպանել ստուգման արդյունքները և կազմել մանրամասն զեկույցներ որակի մոնիթորինգի և գործընթացի բարելավման համար, ի վերջո բարձրացնելով արտադրանքի որակը:
Արտաքին տեսքի ստուգման մեքենա 1
Արտաքին տեսքի ստուգման մեքենա 2
Արտաքին տեսքի ստուգման թերությունները նշված են
PCB կոնի աղտոտվածության ստուգիչ
18. ՏՊԿ իոնային աղտոտվածության ստուգիչը մասնագիտացված գործիք է, որն օգտագործվում է տպագիր միկրոսխեմաների (ՏՊՄ) իոնային աղտոտվածությունը հայտնաբերելու համար: Էլեկտրոնիկայի արտադրության գործընթացում ՏՊՄ մակերեսին կամ միկրոսխեմայի ներսում իոնների առկայությունը կարող է զգալիորեն ազդել սխեմայի ֆունկցիոնալության և արտադրանքի որակի վրա: Հետևաբար, ՏՊՄ-ների վրա իոնային աղտոտվածության մակարդակի ճշգրիտ գնահատումը կարևոր է էլեկտրոնային ապրանքների որակը և հուսալիությունը երաշխավորելու համար:
19. Լարման դիմադրողականության մեկուսացման փորձարկման մեքենան օգտագործվում է մեկուսացման լարման դիմադրողականության փորձարկումներ անցկացնելու համար՝ ստուգելու համար, որ միկրոսխեմայի մեկուսիչ նյութը և կառուցվածքային դասավորությունը համապատասխանում են ստանդարտ պահանջներին: Սա ապահովում է, որ միկրոսխեմայի տախտակը մնա մեկուսացված կանոնավոր շահագործման պայմաններում՝ կանխելով մեկուսացման հնարավոր խափանումները, որոնք կարող են հանգեցնել վտանգավոր միջադեպերի: Փորձարկման արդյունքները վերլուծելով՝ կարելի է արագորեն բացահայտել միկրոսխեմայի հետ կապված ցանկացած խնդիր, ինչը կուղղորդի նախագծողներին բարելավել միկրոսխեմայի դասավորությունը և մեկուսացման կառուցվածքը՝ դրա որակը և աշխատանքը բարձրացնելու համար:
Լարման մեկուսացման փորձարկման մեքենա
Ուլտրամանուշակագույն սպեկտրոֆոտոմետր
20. Ուլտրամանուշակագույն սպեկտրոֆոտոմետր. Ուլտրամանուշակագույն սպեկտրոֆոտոմետրն օգտագործվում է միկրոսխեմաների վրա կիրառվող լուսազգայուն նյութերի լույսի կլանման բնութագրերը չափելու համար: Այս նյութերը, որոնք սովորաբար լուսակայուններն են, որոնք օգտագործվում են տպագիր միկրոսխեմաների արտադրության մեջ, պատասխանատու են միկրոսխեմաների վրա նախշեր և գծեր ստեղծելու համար:
Ուլտրամանուշակագույն սպեկտրոֆոտոմետրի գործառույթներն են՝
1) Ֆոտոռեզիստի լույսի կլանման բնութագրերի չափում. Ֆոտոռեզիստի կլանման բնութագրերը ուլտրամանուշակագույն սպեկտրի տիրույթում վերլուծելով՝ կարելի է որոշել ուլտրամանուշակագույն լույսի կլանման աստիճանը: Այս տեղեկատվությունը օգնում է կարգավորել ֆոտոռեզիստի կազմը և ծածկույթի հաստությունը՝ ֆոտոլիտոգրաֆիայի ընթացքում դրա աշխատանքը և կայունությունն ապահովելու համար:
2) Ֆոտոլիտոգրաֆիայի էքսպոզիցիայի պարամետրերի որոշում. Ֆոտոռեզիստի լույսի կլանման բնութագրերի վերլուծության միջոցով կարելի է որոշել ֆոտոլիտոգրաֆիայի օպտիմալ էքսպոզիցիայի պարամետրերը, ինչպիսիք են էքսպոզիցիայի ժամանակը և լույսի ինտենսիվությունը: Սա ապահովում է նախշերի և գծերի ճշգրիտ վերարտադրությունը ֆոտոռեզիստի վրա միկրոսխեմայից:
21. pH չափիչ. Սխեմաների արտադրության գործընթացում սովորաբար կիրառվում են քիմիական մշակումներ, ինչպիսիք են թթվացումը և ալկալային մաքրումը: pH չափիչն օգտագործվում է մշակման լուծույթի pH արժեքը համապատասխան միջակայքում պահելու համար: Սա ապահովում է քիմիական մշակման արդյունավետությունը, կատարողականությունը և կայունությունը, դրանով իսկ բարելավելով արտադրանքի որակը և հուսալիությունը՝ միաժամանակ ապահովելով անվտանգ արտադրական միջավայր:
